電腦芯片光刻機上用的吸塵機

電腦芯片光刻機上用的吸塵機

上海今鈞簡介

上海今鈞機電工程有限公司是一家致力于自動化表面除塵除靜電設備的新型高科技企業。為多家公司設計安裝過流水線靜電除塵機。在除塵領域10多年，不斷學習，并且引進德國先進除塵技術，助力中國企業綠色環保、高效除塵。

詳情介紹

芯片光刻機是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。制造高精度的對準系統需要具有近乎完美的精密機械工藝。

影響光刻機精度的原因有很多，比如間隙零件精度都有很大關系，其中容易被忽略的一個原因還有光刻機表面清潔原因，光刻機上有切割掉的碎屑或灰塵都會影響芯片切割的精度,所以光刻機上面需要增加除塵設備來保證切割的精度！

芯片光刻機上用的除塵設備介紹

此設備是上海今鈞設計研發的一款可以安裝在光刻機上的除塵設備，我公司與國內多家半導體公司有合作經驗，成功在多種規格的光刻機上得到應用，受到客戶一致好評。我公司常用兩種除塵設備應用于光刻機上下面簡單介紹一下。

第一種：毛刷清潔靜電消除吸塵設備，此設備的工作原理為靜電棒消除靜電減少靜電吸附力，毛刷清潔刷除灰塵和顆粒，再經過高負壓工業吸塵機把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

第二種：強吹靜電除塵設備：此設備工作原理為先靜電消除再通過高速旋轉噴頭把灰塵顆粒吹除并揚起，再使用高負壓工業吸塵機把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

在售部分產品

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立式吸塵集塵機

智能吸塵集塵機

強吹靜電除塵機

旋風靜電除塵機

產品除塵設備

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清潔除塵專機

流水線式除塵設備

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強吹除塵噴頭等產品